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外延产能产品MOCVD设备的发展趋势

由于TV背光和通用照明市场的启动,加大了高亮度LED的需求,LED电视市场渗透率加速提升,2010年有望达到20%-30%。LED照明应用已经从过去户外LED路灯走向室内照明应用,LED照明商机为业界带来无穷想象空间。受此影响,2010年 MOCVD的市场需求量有望大增提升至700-800台,其中2010年中国大陆市场需求有望达到230台,占全球整体市场份额的23%,而且未来需求仍将继续大幅增长。

根据外延成本主要因素分析可以发现,80%以上的成本受到外延尺寸、投资回报率、维修率、产品良率和MO源用量等五个因素的影响。因此未来MOCVD设备开发的趋势将围绕如何提高设备稳定性、提高产品良率、降低材料使用量等方面进行设计。具体来看,主要为以下几个方面:从提高产品良率及产能两方面同时着手降低外延成本;提高机台稳定性;在增加产能的同时,减少人工操作,人为干预;开发降低成本,扩大产能的同时可减少MO源的使用量的产品;开发多腔式外延炉等。

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